位置制御、駆動スピード制御が可能。可動部が軽量で高応答、制御性良好。 特殊磁極でロングストローク域での駆動を実現。エアシリンダ置換にも有効。 ZΘスプラインユニットとして12mmのノズルピッチを実現 ピックアップユニット　ダイレクトモータータイプ 超薄型XYθアライメントステージ □１００のコンパクトサイズ 高精度、高周速、コンパクト、静音ニーズに最適！！ 工作機械の主軸に用いる軸受等の高精度品を収録。