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自動ステージ


	■ 超薄型XYθアライメントステージ　NAF3　（特許取得済み）電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型アライメントステージを紹介＜特長＞・超薄型シンプル構造と高剛性の両立・高精度な位置決め・旋回中心自由設定・専用コントローラで簡単導入
	・カタログ発行日:2011-05-09

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